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介绍了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜装置的结构和工作原理,着重讨论了该装置长时间大功率稳定运行的措施.该装置在微波输入功率为3.0kW时能长时间稳定运行.用该装置成功地在硅衬底上沉积出金刚石膜.
MWPCVD制备金刚石膜装置的大功率稳定运行的研究
【摘 要】
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介绍了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜装置的结构和工作原理,着重讨论了该装置长时间大功率稳定运行的措施.该装置在微波输入功率为3.0kW时能长时间稳定运行.用该装置成功地
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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2001年7期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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