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<正> 近年来,在需要超精密定位的装置和机械中,对定位的精度和稳定性的要求日益提高,已达到纳米量级,对比,定位传感器起着重要的作用。本文以惠普(HP)公司的激光传感器为例,介绍其测量原理、应用以及技术发展动
激光测量技术及其应用
【摘 要】
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<正> 近年来,在需要超精密定位的装置和机械中,对定位的精度和稳定性的要求日益提高,已达到纳米量级,对比,定位传感器起着重要的作用。本文以惠普(HP)公司的激光传感器为例,
【出 处】
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国外计量
【发表日期】
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1990年03期
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