【摘 要】
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红外焦平面列阵成像技术已经进入了成熟期。本文对几种红外焦平面列阵器件如MCT、InSb和QWIP的最新进展作一评述,简要介绍其器件发展水平、技术路线和关键工艺。简要提及一种
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所 上海200083
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红外焦平面列阵成像技术已经进入了成熟期。本文对几种红外焦平面列阵器件如MCT、InSb和QWIP的最新进展作一评述,简要介绍其器件发展水平、技术路线和关键工艺。简要提及一种新颖的非制冷焦平面成像技术:光学读出微光机红外接收器。
Infrared focal plane array imaging technology has entered a mature stage. In this paper, we review the recent progress of several infrared focal plane array devices such as MCT, InSb and QWIP, and briefly introduce their device development, technology route and key technologies. A novel uncooled focal plane imaging technique is briefly mentioned: optical readout optical receiver infrared receiver.
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