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鉴于真空镀膜机中,非平衡磁场控制溅射系统的"遮以阴影"弊端,提出一种对该系统加以完善的原理和设计方案,为增加等离子体的范围和密度,改善镀制膜的结构和性质作了新的尝试.
非平衡磁控系统的“遮以阴影”问题的研究
【摘 要】
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鉴于真空镀膜机中,非平衡磁场控制溅射系统的"遮以阴影"弊端,提出一种对该系统加以完善的原理和设计方案,为增加等离子体的范围和密度,改善镀制膜的结构和性质作了新的尝试.
【机 构】
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西安工业学院科研处
【出 处】
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纺织高校基础科学学报
【发表日期】
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2002年1期
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