【摘 要】
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介绍一种能测量微机械结构振动频率的光纤振动传感器.较详细地介绍了该传感器的工作原理和结构特点,并对其线性检测范围进行了理论分析.这种传感器能检测振幅为1μm的振动.
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介绍一种能测量微机械结构振动频率的光纤振动传感器.较详细地介绍了该传感器的工作原理和结构特点,并对其线性检测范围进行了理论分析.这种传感器能检测振幅为1μm的振动.
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