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基于时域傅里叶变换的波长移相算法
基于时域傅里叶变换的波长移相算法
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiazixu
【摘 要】
:
基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理.这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测.介绍了该算法的中心思想,指出了已有的
【作 者】
:
于瀛洁
张本好
焦云芳
【机 构】
:
上海大学精密机械工程系
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
计量学
移相算法
波长移相干涉技术
离散傅里叶变换
Metrology Phase-shifting algorithm Phase-shifting by w
【基金项目】
:
上海市青年科技启明星计划
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基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理.这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测.介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法.叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析,最后给出了实验结果.
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