【摘 要】
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大口径插板阀,使用氟橡胶密封。由于氟橡胶有可凝物挥发出来,且出气率较高,会影响系统的极限真空,也可能会污染系统;因此在无油超高真空系统的设计中采用氟橡胶阀时往往很谨
【机 构】
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兰州物理研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,
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大口径插板阀,使用氟橡胶密封。由于氟橡胶有可凝物挥发出来,且出气率较高,会影响系统的极限真空,也可能会污染系统;因此在无油超高真空系统的设计中采用氟橡胶阀时往往很谨慎。分子束外延系统由分子筛吸附泵、升华泵(抽速7000升/秒)和三极式溅射离子泵
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