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<正>2.7路线图范围传统上看,ITRS主要专注于CMOS(互补金属氧化物硅)技术的按比例缩小。然而,从2001年版的ITRS开始,我们遇到了这样的挑战:即使是对CMOS工艺按比例缩小的最乐观的估计也会遇到麻
国际半导体技术发展路线图(ITRS)2009年版综述(2)
【摘 要】
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<正>2.7路线图范围传统上看,ITRS主要专注于CMOS(互补金属氧化物硅)技术的按比例缩小。然而,从2001年版的ITRS开始,我们遇到了这样的挑战:即使是对CMOS工艺按比例缩小的最乐
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2010年03期
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