【摘 要】
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研究了一种基于绝缘体上硅片(SOI)的半径为5μm的狭缝波导微环无标记生物传感器,其检测原理是利用了周围的环境发生变化导致传感器输出端口的响应曲线的谐振峰位置发生漂移这一
【机 构】
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电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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研究了一种基于绝缘体上硅片(SOI)的半径为5μm的狭缝波导微环无标记生物传感器,其检测原理是利用了周围的环境发生变化导致传感器输出端口的响应曲线的谐振峰位置发生漂移这一特性.基于时域有限差分法(FDTD)对器件几何参数优化和传感特性分析,结果表明,在微环谐振腔的耦合长度为3μm、耦合间距为80 nm、侧向失配量为-5nm、非对称系数为0.5时,传感器的灵敏度大小可达5 94nm/RIU,相对于传统微环传感器的灵敏度提高了8倍以上,相应的自由光谱范围是25.6 nm,品质因子为430.最终实现的传感器尺寸
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