【摘 要】
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游离磨料线锯切割技术是目前单晶硅切片的主要加工方法。建立了游离磨料线锯切片过程中流体动压效应的数学模型，并采用有限差分法进行了数值分析，得到了游离磨料线锯切片的流体
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游离磨料线锯切割技术是目前单晶硅切片的主要加工方法。建立了游离磨料线锯切片过程中流体动压效应的数学模型，并采用有限差分法进行了数值分析，得到了游离磨料线锯切片的流体动压力分布和膜厚。结果表明，当磨粒尺寸较小时，锯丝与晶体间的膜厚大于磨粒尺寸，磨粒悬浮在研磨液中，因此研磨液中磨粒与晶体的碰撞将是材料去除的主要因素。
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