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<正> 一、工艺指标与方案:根据省电子局对高纯氧,高纯氮的要求:产量:5M~3/小时,质量:高纯氧>99.99%,高纯氮>99.999%。由于产量不高,而质量要求比较严格,因此必须采用外加精馏塔,对初级产品进行提纯,以达到质量要求。而且可以充分利用原来1500M~3/小时制氧机的冷量,由原空分装置引管道至高纯氧、氮塔。产品质量分