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论述了电互连和光互连的优缺点。从现在工艺水平来看,光互连技术比较可行的应用是解决计算机之间以及内部芯片的互连,以及解决光互连器件与硅集成电路工艺相容性问题。
电互连和光互连
【摘 要】
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论述了电互连和光互连的优缺点。从现在工艺水平来看,光互连技术比较可行的应用是解决计算机之间以及内部芯片的互连,以及解决光互连器件与硅集成电路工艺相容性问题。
【机 构】
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哈尔滨工业大学应用物理系,哈尔滨工业大学应用物理系哈尔滨150006,哈尔滨150006
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1992年1期
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