【摘 要】
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ZnO薄膜进行CeO2掺杂,研究掺杂含量和热氧化对薄膜结构、表面、晶粒尺寸及气敏特性的影响。结果显示,用热蒸发制备的高纯Zn膜经500℃热氧化,获得c轴取向ZnO多晶薄膜。掺CeO2
【机 构】
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厦门大学物理与机电工程学院物理系,内蒙古大学物理科学与技术学院
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ZnO薄膜进行CeO2掺杂,研究掺杂含量和热氧化对薄膜结构、表面、晶粒尺寸及气敏特性的影响。结果显示,用热蒸发制备的高纯Zn膜经500℃热氧化,获得c轴取向ZnO多晶薄膜。掺CeO2可抑制晶粒生长使颗粒细化平均粒径减小,同时改善了ZnO薄膜的体相化学计量比,Zn与O的比例从未掺杂时1∶1.28降到1∶1.191。XPS分析给出薄膜中Zn显＋2价,O为-2价。掺CeO2（9%）可大大提高薄膜对乙醇和丙酮的敏感性,灵敏度分别达35和40。
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