【摘 要】
：
测出了电子回旋共振和反应离子腐蚀条件下暴露在氩等离子体下的InN,In_(0.5)Ga_(0.5)N 和 In_(0.5)Al_(0.5)N 层的导电率随射频功率、压力和暴露时间的变化。较高的微波和射
论文部分内容阅读
测出了电子回旋共振和反应离子腐蚀条件下暴露在氩等离子体下的InN,In_(0.5)Ga_(0.5)N 和 In_(0.5)Al_(0.5)N 层的导电率随射频功率、压力和暴露时间的变化。较高的微波和射频功率使氮化物的薄层电阻有了很大增长(10～10~4倍),但更典型的有效腐蚀工艺(射频功率小于150W)条件并不改变电性能。氮化物比其它的Ⅲ-Ⅴ族半导体对损伤更有抵抗力。去除和损伤有关的陷阱需约2.7eV的激活能量。
The electrical conductivity of InN, In_ (0.5) Ga_ (0.5) N and In_ (0.5) Al_ (0.5) N layers exposed to argon plasma under electron cyclotron resonance and reactive ion etching were measured with RF power, pressure and Changes in exposure time. Higher microwave and RF power have greatly increased the sheet resistance of nitrides (10 to 10 to 4 times), but the more typical effective etching process (RF power less than 150 W) does not change the electrical properties. Nitrides are more resistant to damage than other Group III-V semiconductors. Removing traps associated with damage requires about 2.7eV of activation energy.
其他文献
今年是伟大的英国电影艺术家查尔斯·卓别林逝世五周年,为了纪念这位对喜剧电影艺术作出过不朽贡献的大师,特选择了两篇文章。这两篇文章的作者同样也是已经谢世的伟大人物,
对目标进行昼夜观、瞄、测距的最有效手段是红外与激光的组合使用。８～１２μｍ热象仪和ＣＯ２激光测距机因在技术上有许多共同点，使两者能够实现高程度的组合兼容。本文简要分析了这两种系统
小波变换是近年来兴起的一种时频域信号分析理论，是信号分析处理的一种强有力的新工具。文中根据小波变换的特点，在Ｍａｌａｔ“二通道”多分辨分析的基础上，讨论分析了信号的多通道多分辨
<正> 《乌鸦与麻雀》是“五四”以来的优秀影片之一。这部影片之所以被称为优秀影片,是因为它在艺术上颇具特色。看过影片的人,都有一个共同的感觉:这部影片的故事虽然是平淡
1.钓鲫鱼○竞技钓(拉饵)狂鲫1/2袋+D M PT鲫1/4袋+适量鲫鱼香精(瓶装)○竞技钓(搓饵)D M PT鲫1/2袋+皇鲫1/2袋+适量鲫鱼香精(瓶装)○休闲钓(冬春养殖池)大底鲫1袋+大鲫1/2袋+
本文共分五个部分。第一部分论述了半个世纪以来CISG的缔约经过。第二部分分析了CISG如何荟萃了主要法系的成果,并移植其国内法的成功理念,成就CISG本身的机制。第三部分阐述
一、材料生长1.HgCdTe分子束外延技术:材料性能集锦(Owen K.Wu)2.分子束外延中HgCdTe生长条件的精确控制(Masaya Kawano)3.利用三价丁基三氯化砷作为受主源,用金属有机物汽
3月=镕#!*#女BH∞#§3目=§女$月女日#目#n口±3月=#☆#^*q#EE“女目3目= ￡∞*0十《§*目g☆镕4目j ;*#‰#日女#76^4目=目*§∞女##目a∞月Am4月=≈#女=*±《$镕#*$4自= 女￡#女
“加拿大飞人”再次翱翔天空,我们已不记得他凝满悲伤的岁月。
“Canadian trapeze” Soaring sky again, we do not remember his full years of sadness.
▲去年某日到吉林省镇西团结水库垂钓,鱼情特好,我是紧忙乎不得闲,两位当地老乡一前一后走过来搭话,第一位问:“爷们儿,咋样呀?”我回头一看,觉得年龄没那么大差距,不语。第