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本文描述了高分辨率辉光放电质谱(GDMS)的固体元素分析,综述了GDMS的原理,定量方法,分析性能和仪器结构及其在高纯金属和半导体材料中的应用。还讨论了此技术用于痕量分析方面的优点。
辉光放电质谱新技术在分析化学上的应用
【摘 要】
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本文描述了高分辨率辉光放电质谱(GDMS)的固体元素分析,综述了GDMS的原理,定量方法,分析性能和仪器结构及其在高纯金属和半导体材料中的应用。还讨论了此技术用于痕量分析方
【机 构】
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峨嵋半导体材料研究所峨嵋山市四川614200
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1991年2期
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