【摘 要】
：
提出了用于光刻仿真的建模流程.用高斯滤波器与空间影像进行卷积,得到改进的空间影像来模拟光刻胶的扩散,然后使用可变阈值光刻胶模型,以实际工艺数据拟合该模型参数,再把改
论文部分内容阅读
提出了用于光刻仿真的建模流程.用高斯滤波器与空间影像进行卷积,得到改进的空间影像来模拟光刻胶的扩散,然后使用可变阈值光刻胶模型,以实际工艺数据拟合该模型参数,再把改进空间影像的相关信息作为输入,并根据可变阈值光刻胶模型所确定的光强阈值来预测CD(critical dimension)变化,从而使光刻仿真的结果更精确地附合实际测量数据.由于正确地表征了实际工艺的特性,模拟结果显示,多参数光刻胶模型更适于实际开发的光学邻近校正(optical proximity correction,OPC)仿真工具.
其他文献
就镍薄膜热电阻研制过程中的选材、工艺、稳定性等问题进行了探讨,实验结果表明:可以选用国产0号镍,采用S-枪磁控溅射技术制备镍薄膜热电阻;合适的热处理工艺是保证电阻温度
顾石松主任认为抑郁症的病本为肾阳亏虚、肝寒气滞,加之现代生活方式使先天后天阳虚更甚。故以扶助肾阳为治疗大法,兼施暖肝散寒、振奋心阳、调畅中焦引火下行、镇静安神等法
《血证论》为清代著名医家唐宗海所著,其在此书中阐述了各种出血性疾病的机理和治疗方案,作为一本论述血证的专著,此书对后世医家认识和治疗血证产生了深远的影响。月经病作
目的观察生精固本汤联合抗氧化剂治疗少弱精子症的临床疗效。方法在我院于2015年2月-2016年6月间收治的少弱精子症患者中选出150例作为本次研究的观察对象,根据治疗方法的不
在企业信息化实施过程中,为了适应不断变化的市场环境,常常需要对实施方案进行更改.寻求简单有效的更改管理方法,对提高信息化实施过程的效率和成功率具有重要意义.在设计结
目的中西药联合对药物流产后的完全流产率、阴道流血持续时间,阴道流血量的影响,探讨中西药联合应用对药物流产的临床疗效。方法选取我院门诊行常规药物流产的患者300例作为
目的探讨通脉养心汤对心肌梗死患者心肌酶谱及动态心电图的影响。方法以我院100例急性心肌梗死患者为研究对象,按随机数字表法将其分为观察组和对照组各50例,对照组采用常规
目的探讨中药组方分期治疗内分泌失调性不孕症的临床效果。方法所选研究对象为2016年4月—2017年4月本院收治的经临床检查确诊的内分泌失调性不孕症患者104例。按照治疗措施
目的观察10年间住院心衰患者中、西药物使用情况的差别,分析其变化趋势及原因。方法收集广州中医药大学第一附属医院心内科1999年及2009年出院诊断为慢性心力衰竭的出院病例,
对高压压缩空气生产过程的能量消耗特性进行了分析,指出多级压缩过程是一条可行的节能途径;提出高压气体采取容积膨胀减压的新方法,对节流减压和容积膨胀减压过程的能耗特性