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铁氧体基材上磁控溅射可焊性薄膜
铁氧体基材上磁控溅射可焊性薄膜
来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yaer7201982
【摘 要】
:
通过比较铁氧体表面金属化的多种方式,详细介绍了磁控溅射法对铁氧体基材进行金属化处理的工艺过程,并对利用该工艺制备的金属复合膜层进行了性能测试。测试结果表明,该工艺
【作 者】
:
张晔
胡江华
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第38研究所
【出 处】
:
新技术新工艺
【发表日期】
:
2008年08期
【关键词】
:
铁氧体
磁控溅射
复合膜
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通过比较铁氧体表面金属化的多种方式,详细介绍了磁控溅射法对铁氧体基材进行金属化处理的工艺过程,并对利用该工艺制备的金属复合膜层进行了性能测试。测试结果表明,该工艺完全能满足铁氧体微波器件的焊接性能要求。
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