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可靠性是产品质量的重要组成部分 ,微电子工艺可靠性是保证 IC产品可靠性的关键一环。从 IC生产环节考虑 ,详细讨论了微电子工艺可靠性及其保证措施 ,重点讨论了原材料控制、设备与工艺控制及洁净环境控制的重要性 ,这些因素是生产高可靠性 IC产品的有力保证。
微电子工艺可靠性研究
【摘 要】
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可靠性是产品质量的重要组成部分 ,微电子工艺可靠性是保证 IC产品可靠性的关键一环。从 IC生产环节考虑 ,详细讨论了微电子工艺可靠性及其保证措施 ,重点讨论了原材料控制、设备与工艺控制及洁净环境控制的重要性 ,这些因素是生产高可靠性 IC产品的有力保证。
【机 构】
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重庆邮电学院
【出 处】
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重庆邮电学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年01期
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