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介绍了当前国际上关于微米、纳米技术及其在微型机械、微型机械电子系统以及在专用集成型仪器等方面的应用。
微米／纳米技术及其应用
【摘 要】
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介绍了当前国际上关于微米、纳米技术及其在微型机械、微型机械电子系统以及在专用集成型仪器等方面的应用。
【机 构】
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西安电子科技大学
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1996年3期
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