非平衡磁控溅射及其应用

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chc1102
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
磁控溅射镀膜技术由于其显著的特点已经得到广泛的应用。但是常规磁控溅射靶表面横向磁场紧紧地束缚带电粒子,使得一镀膜区域的离子密度很低,一定程度上削弱了等离子体膜的优势。通过有意识地增强或削弱其中一个磁极的磁通量。使得磁控溅射靶的磁场不平衡,可以大大提高镀区域的等离子体密度,从而改善镀膜质量,此外还讨论该技术目前的发展状况。
其他文献
综述了各种用于Fmoc法肽合成赖氨酸的正交保护方法,这些保护方法对多肽的化学修饰起着十分重要的作用。介绍了各种正交保护赖氨酸的合成、脱除方法及在肽合成中的应用实例,分析
本文研究了TiN薄膜在化学气相沉积、物理气相沉积(包括热灯丝离子镀和多弧离子镀)以及等离子增强化学气相沉积等不同生成条件下的内应力变化。并通过改变钢及硬质合金基体的
用STM在大气中成功地观察到了吸附在高定向热解石墨(HOPG)上的从桑蚕中提取的丝蛋白单分子层的结构,研究了温度和甲醇处理导致丝蛋白结构变化的情况,并根据实验结果提出了桑蚕丝
研制了一种用石英管制作的小型腔式微波离子源,该腔套在石英管的一端,封装两电极引出系统。该了源利用腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。在微波频率为2.45GHz,输入功率为93.W时,氮
Fuzz测试是一种黑盒测试技术,通常用于发现应用程序以及协议的漏洞。利用这种技术对使用简单格式数据的应用程序或者网络协议进行安全性测试时效果比较显著,但是在对大型办公软件的安全性测试中,由于其软件文件格式复杂,暴力Fuzz测试效率低下。为了提高对办公软件安全性测试的效率,针对它所采用的复合文档文件类型,根据其结构化存储的特征,提出了一种有效的Fuzz测试策略。
具备局部性质的无网格方法(即局部微积分法和局部近似特别解法)通过创建局部区域并利用该区域的点构造局部低阶矩阵,然后再将该矩阵推广成全局形式,以得到一个稀疏线性方程组,从而
通常人们认为聚乙烯薄膜是绝缘体,聚乙烯晶片的表面形貌是分子链的折迭部分,多是无规排列的,不能用扫描隧道显微镜(STM)研究聚乙烯薄膜的表面形貌。我们研究了聚乙烯薄膜的电
8月11日,油菜生产机械化技术研讨会在京召开。会上发布了在我国4个省份的油菜主产区开展的油菜收获损失检测结果,结果表明:油菜机械联合收获损失率较人工收获损失率更小,现阶段应
6月18—19日,常发农装东北区域营销工作会议在佳木斯召开,常发农装主要领导以及黑、吉、辽、蒙各产品线主要经销商出席了本次会议。会议分析了当前的国内农机形势,明确了今后一
为了研究轻型客车气动特性的影响因素,以某国产轻型客车1:5简化模型为研究对象,通过数值模拟的方法,计算前端过渡半径改变后轻型客车的气动阻力和气动升力,得到其变化规律。模拟结