论文部分内容阅读
多端口组件网络方法可以实现MEMS器件系统级的快速设计与仿真。本文利用该方法，在SABER仿真平台上搭建了MEMS固态引信谐振器的系统级行为模型，并进行了小信号频域仿真、时域仿真以及灵敏度仿真，其结果接近于有限元分析结果。表明采用多端口组件网络方法进行MEMS器件的设计，可以满足设计要求，保证精度，提高设计效率。