射频磁控溅射有机衬底SnO2：Sb透明导电膜性能的研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qinslin5043

【摘要】

：

采用射频磁控溅射法在聚丙烯己二酯有机薄膜(polypropylene adipate, PPA)衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电膜.研究了薄膜的厚度效应对SnO2∶Sb薄膜的结构

【作者】

：

张士勇马瑾刘晓梅马洪磊郝晓涛

【机构】

：

长安大学,山东大学,山东大学

【出处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

SnO2:Sb透明导电膜射频磁控溅射有机衬底光电性质 RF magnetron sputteringSnO_2∶Sb filmsoptical and e

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采用射频磁控溅射法在聚丙烯己二酯有机薄膜(polypropylene adipate, PPA)衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电膜.研究了薄膜的厚度效应对SnO2∶Sb薄膜的结构、光学和电学特性的影响.制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构.载流子浓度和迁移率随着薄膜厚度的增加而增大,电阻率随着薄膜厚度的增加而减小,最低电阻率为 2×10-3Ω*cm.

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