Si—SiGe—Si异质结双极晶体管的数字模拟

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woshishen654123
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报道了Si-SiGe-Si异质结双极晶体管的数字模拟结果。采用有限差分法解半导体器件的载流子输运方程,求出各点上的载流子浓度及其电位,由此可确定器件的直流特性。器件的发射区掺杂浓度为1.4×10<sup>17</sup>cm<sup>-3</sup>,基区掺杂浓度为7×10<sup>18</sup>cm<sup>-3</sup>,SiGe基区中Ge摩尔含量为0.31,模拟得到的最高电流增益为
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