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通过对单晶α－Al2O3磨削，研磨，抛光工艺中的设备，工具，辅料，清洗，环境等方面的研究，优化了加工工艺，使晶片表面粗糙度降低到0.4nm以下，成品率由94％提高到99．5％，加工成本降低了30％。
单晶α—Al2O3镜面加工工艺研究
【摘 要】
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通过对单晶α－Al2O3磨削，研磨，抛光工艺中的设备，工具，辅料，清洗，环境等方面的研究，优化了加工工艺，使晶片表面粗糙度降低到0.4nm以下，成品率由94％提高到99．5％，加工成本降低了30％。
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院
【出 处】
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天津大学学报：自然科学与工程技术版
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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盐城工学院青年科研基金资助项目 (991 730 6)
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