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目的：比较分析半导体探头和电离室探头在三维水箱测量中的差异，为能够提高数据测量精度从而实现治疗计划系统建立准确的计算模型提供依据：方法：在加速器8MV光子线下，使用0．13cm^3的指形电离室和半导体探头在三维水箱中分别测量照射野1cm×lcm，2cm×2cm，3cm×3cm，4cm×4cm，5cm×5cm，6cm×6cm，8cm×8cm，10cm×l0cm的总散射因子、百分深度剂量曲线、离轴比曲线，对测量结果进行比较和分析；