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本文从已取得的初步进展论证1.3～1.6μm波长的全Si集成光路的可行性。重点论述构成全Si集成光路的基础元件,如光波导、调制器、光开关、光源和探测器等的可行性以及实现的方案。
1.3—1.6υm波长的全硅集成光路的可行性
【摘 要】
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本文从已取得的初步进展论证1.3～1.6μm波长的全Si集成光路的可行性。重点论述构成全Si集成光路的基础元件,如光波导、调制器、光开关、光源和探测器等的可行性以及实现的方案
【机 构】
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重庆光电技术研究所,重庆光电技术研究所重庆永川632163,重庆永川632163
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1991年3期
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