【摘 要】
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本文着重介绍紫外区域几种光学多层干涉薄膜的研究及其应用。随着紫外光刻技术、激光技术以及其它领域的发展,对紫外光学薄膜的研究越来越被重视。本文着重就波长在2500埃处
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本文着重介绍紫外区域几种光学多层干涉薄膜的研究及其应用。随着紫外光刻技术、激光技术以及其它领域的发展,对紫外光学薄膜的研究越来越被重视。本文着重就波长在2500埃处的全电介质多层窄带泸光片、截止泸光片以及光谱分光膜作简单介绍。
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