紫外区域几种光学薄膜的研究

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本文着重介绍紫外区域几种光学多层干涉薄膜的研究及其应用。随着紫外光刻技术、激光技术以及其它领域的发展,对紫外光学薄膜的研究越来越被重视。本文着重就波长在2500埃处的全电介质多层窄带泸光片、截止泸光片以及光谱分光膜作简单介绍。 This article focuses on the research and application of several optical multilayer interference films in the ultraviolet region. With the development of UV lithography, laser technology and other fields, more and more attention has been paid to the research of UV optical films. This article focuses on the wavelength of 2500 in the Department of all-dielectric multilayer narrow band Lu Guang, cut-off Lu Guang and spectral spectroscopy for a brief introduction.
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