【摘 要】
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本文介绍了离子注入新技术的发展概况,说明离子注入机的工作原理,综述了近年来离子注入在材料科学及工程方面的研究成果,其中也介绍了作者近期的研究工作。
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本文介绍了离子注入新技术的发展概况,说明离子注入机的工作原理,综述了近年来离子注入在材料科学及工程方面的研究成果,其中也介绍了作者近期的研究工作。
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