离子注入在材料科学与工程中的应用

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本文介绍了离子注入新技术的发展概况,说明离子注入机的工作原理,综述了近年来离子注入在材料科学及工程方面的研究成果,其中也介绍了作者近期的研究工作。 This paper introduces the development of new ion implantation technology, describes the working principle of ion implanter, summarizes the ion implantation in recent years in materials science and engineering research, which also introduced the author’s recent research work.
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