【摘 要】
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为了制备高效的MoSi/SiO2/Si异质结太阳能电池,利用磁控溅射技术制备MoS2薄膜,并在硫气氛下对MoS2薄膜进行退火处理。分别用退火和未退火的MoS2薄膜制备MoS2/SiO2/Si异质结太
【机 构】
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河北大学物理科学与技术学院,华北理工大学理学院
【基金项目】
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国家自然科学基金青年基金资助项目（No.61504036）, 河北省自然科学基金青年基金资助项目（No.A2016201087）, 河北省高等学校科学研究指导项目（No.Z2015121）, 河北省科技计划资助项目（No.13214315）, 教育部博士点基金资助项目（No.20131301120003）, 河北省高等学校科技研究项目（No.QN20131115）
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为了制备高效的MoSi/SiO2/Si异质结太阳能电池,利用磁控溅射技术制备MoS2薄膜,并在硫气氛下对MoS2薄膜进行退火处理。分别用退火和未退火的MoS2薄膜制备MoS2/SiO2/Si异质结太阳能电池,研究了退火对MoS2薄膜的微观结构和MoS2/SiO2/Si异质结太阳能电池光电性能的影响。实验结果显示,相比于未退火的,经过退火处理的MoS2薄膜的拉曼峰半高宽（FWHM）变窄,峰强增强,显微荧光光谱中也出现明显的激子发光峰。由此表明,退火处理使MoS2薄膜由非晶向晶态转变,薄膜的体缺陷减少,异质结
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