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喇曼散射光谱被广泛应用于分子鉴定、分子结构研究等领域。介绍了利用喇曼光谱定量分析气体各组分浓度的方法,并利用该方法对氧硖化学激光器氧发生器的单态氧产率进行了测试,测试相对误差小于8%。并与另外一种测试方法模拟体光源法进行了比对实验,二者趋势完全一致。该方法对提高单态氧产率的测试精度有实际意义。