ECR-PEMOCVD法在GaAs(001)衬底上制备GaN量子点

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzcko22
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
报道了用电子回旋共振(ECR)等离子体增强金属有机化学气相沉积(PEMOCVD)方法在GaAs(001)衬底上成功地制备出GaN量子点.原子力显微镜(AFM)测量表明成核密度高达1010cm-2,量子点直径约为30nm.采用300℃低温氮化,600℃退火和500℃缓冲层,600℃退火工艺制备.GaN量子点的密度和大小由制备温度和时间所控制.最后讨论了量子点成核的机制.
其他文献
对在高速光时分复用系统中(2×10 GHz)基于铌酸锂(LiNbO3)调制器的注入光电混合振荡器的时钟提取方法进行了实验验证,提取的时钟抖动小于0.5 ps.实验分析了入射光功率、L
为了克服图像模糊消除算法不稳定与解模糊等难题,保证复原图像的细节信息清晰完整,并提高算法的运行效率,获取实时性,提出了神经网络融合自回归移动平均模型的图像模糊消除并行稳定机制。引入神经网络,基于突触权重系数,构造激活函数;再嵌入人工蜂群算法(Artificial Bees Colony,ABC),并以神经网络的均方误差函数设计适应度方程,由ABC算法训练神经网络,利用优化后的神经网络来获取自回归移
回顾了单晶高温合金的发展历史,结合晶体学知识系统总结与分析了制取高温合金单晶的两种定向凝固技术的原理与晶体竞争生长机制.对两种方法现有工艺的优缺点进行了深入思考与
DAB是继AM、FM之后的第三代广播技术.针对DAB中的OFDM调制关键技术,采用改进基-2蝶形来减少乘法器的使用,运用浮点数模块实现高精度,利用流水线方式进行加法器和乘法器优化,同时用
分析了用于DWDM系统均匀光纤光栅反射特性与光栅、光刻条件的关系;给出了用于DWDM系统中的光纤光栅的设计原理、方法及确定光栅参数的流程.采用高斯光束和均匀相位模版,用二
通过设计一种土木阻尼结构能量收集装置,对系统模型进行了分析并建立了能量收集系统的力学理论数学模型,运用MATLAB进行了在不同的振幅、频率、外接电阻等工况下系统不同受力情