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采用旋转喷涂法在低温下成功制备出结晶完整、无杂相的Co铁氧体纳米薄膜，并研究了反应温度、平台转速等实验参数对铁氧体薄膜制备及性能的影响。分别采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、振动样品磁强计和原子吸收光谱仪来表征样品的形貌、晶体结构、宏观磁性以及薄膜成分。实验发现，反应温度控制在90℃以上时，薄膜生长的反应才能进行完全，且适宜的平台转速为150r／min。在该条件下得到成分为Co0．6Fe2．4O4纳米薄膜的饱和磁化强度接近370kA／m，矩形比接近0.6，垂直膜面的矫顽力约为215kA／m。