论文部分内容阅读
文中对所设计的基于柔性铰链的微动平台进行了静态刚度、弱截面处最大应力和固有频率的分析。用有限元法进行了平台的建模，仿真得出平台的静态刚度值和最大应力值与计算结果分别相差2．5％和3．1％。在实验中测试了平台的静态刚度和固有频率，也得到了理想的结果。由此可见，通过公式分析微动平台的特性具有可行性，为微动平台的特性研究提供了一种参考。