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介绍了傅里叶变换红外（ Ｆ Ｔ Ｉ Ｒ） 测量及双调制和步进扫描技术的基本原理，讨论了中红外波段半导体材料和器件光谱研究中的一些特殊要求以及在 Ｆ Ｔ Ｉ Ｒ 方法中引入双调制和步进扫描技术的必要性，并结合一些具体应用实例探讨了这些技术的适用范围。
FTIR测量及双调制和步进扫描技术的应用
【摘 要】
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介绍了傅里叶变换红外（ Ｆ Ｔ Ｉ Ｒ） 测量及双调制和步进扫描技术的基本原理，讨论了中红外波段半导体材料和器件光谱研究中的一些特殊要求以及在 Ｆ Ｔ Ｉ Ｒ 方法中引入双调制和步进扫描技术的
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室!上海200050
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1999年4期
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