【摘 要】
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MEMS传感器是一种新型的传感器技术,是多学科领域交叉的前沿科技技术。本文主要研究MEMS传感器国内及国外的发展现状和趋势以及主要的应用领域。MEMS突出的优点是利用微电子
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MEMS传感器是一种新型的传感器技术,是多学科领域交叉的前沿科技技术。本文主要研究MEMS传感器国内及国外的发展现状和趋势以及主要的应用领域。MEMS突出的优点是利用微电子技术把传感器、执行器和处理电路这三部分集成在一起,组成单片集成传感器或系统,更可以实现传感器芯片的大规模批量制造,已广泛用于信息、汽车、消费、工控等领域,并成为国际竞争的战略制高点。
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