【摘 要】
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导电氧化锌陶瓷用作靶材通过磁控溅射等薄膜制备技术在玻璃衬底表面沉积透明导电氧化锌薄膜，可用作价格昂贵的氧化锢锡透明导电薄膜的替换材料。氧化锌陶瓷的掺杂将直接影响到
【基金项目】
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浙江省科技厅计划项目(2009C31148)
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导电氧化锌陶瓷用作靶材通过磁控溅射等薄膜制备技术在玻璃衬底表面沉积透明导电氧化锌薄膜，可用作价格昂贵的氧化锢锡透明导电薄膜的替换材料。氧化锌陶瓷的掺杂将直接影响到氧化锌薄膜的电学性能，因此对氧化锌陶瓷掺杂研究非常必要。氧化锌本身氧空位的存在显示出n型半导体的性质，通过铝离子掺杂能够显著提高载流子浓度。依据此机理，通过液相反应法和陶瓷工艺合成了铝掺杂氧化锌陶瓷，并对其电学性能进行了分析研究。结果显示氧化锌陶瓷电阻率随着铝掺杂量的增加先降低后升高，铝掺杂浓度1％时电阻率最低。
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