Ti_(1-x)AI_xN涂层低压化学气相沉积(CVD)技术

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随着高速干式切削工艺以及硬质材料切削需求的增加,对切削工具的需求也随之增大。这类材料包括高强度钢、铸造材料以及用于汽车以及航空工程的高强度合金材料。当切削工具高速运转时,切削刃的温度可超过1000℃,因此现代耐磨涂层不仅要具有高强度和韧性,还要有良好的抗氧化性和化学惰性,开发更有效的耐磨涂层势在必行。在过去的几十年里,面心立方(fcc)结构的Ti_(1-x)Al_xN已经成为耐磨应用领域的标准涂层。由于它是一种相对稳定的材料,因此只能通过在温度相对较低的PVD情况下进行涂层生产。但是PVD方式仅限于铝含量x=0.67的面心立方(fcc)结构Ti_(1-x)Al_xN的沉积,因此其抗氧化性能有限。为了增加这种涂层的铝含量,石川岛播磨爱恩邦德公 As high-speed dry cutting technology and hard material cutting demand increases, the demand for cutting tools also will increase. Such materials include high-strength steels, foundry materials, and high-strength alloys for automotive and aerospace applications. When cutting tools operate at high speeds, the temperature of the cutting edge can exceed 1000 ° C, so modern wear-resistant coatings not only have high strength and toughness, but also have good oxidation and chemical inertness to develop more effective wear-resistant coatings Imperative. Over the past few decades, the fcc structure of Ti_ (1-x) Al_xN has become the standard coating for wear-resistant applications. Because it is a relatively stable material, it can only be produced by coating with relatively low temperature PVD. However, the PVD method is limited to the deposition of the fcc structure Ti 1-x Al x N with the content of x = 0.67, so its oxidation resistance is limited. In order to increase the aluminum content of this coating, Ishikawa Island grinds Ionbond
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