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微量进给可满足可延性磨削的要求，微量进给装置采用压电陶瓷作为控制元件，通过调节空气轴承供气压力，实现超精密平面磨削０．０１μｍ的微进给量，实验表明该装置可用于磨床导轨误差的缓进给补偿控制中。
超精密平面磨削0.1μm微量进给装置的实验研究
【摘 要】
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微量进给可满足可延性磨削的要求，微量进给装置采用压电陶瓷作为控制元件，通过调节空气轴承供气压力，实现超精密平面磨削０．０１μｍ的微进给量，实验表明该装置可用于磨床导轨误差的缓进给
【机 构】
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四川联合大学,中国航空精密机械研究所
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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1999年1期
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