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着重研究了γ辐照后,不同偏置情况下,N—Sub MOS电容的高频C—V曲线随B2+注入剂量的变化,并对实验结果进行了分析讨论。
注BF2+MOS电容的电离辐射效应
【摘 要】
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着重研究了γ辐照后,不同偏置情况下,N—Sub MOS电容的高频C—V曲线随B2+注入剂量的变化,并对实验结果进行了分析讨论。
【机 构】
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西安电子科技大学,骊山微电子公司西安710071,西安710071,陕西临潼710600
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1993年02期
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