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运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属－绝缘层－金属（ＭＩＭ）结构的薄膜应变栅，测试了应变栅在２００￣３００℃的高温区内的稳定性，并分析了应变栅薄膜的结构、薄膜的应力以及热处理工艺等因素对力敏薄膜在高温下的稳定性的影响。
MIM结构力敏薄膜应变栅的高温稳定性
【摘 要】
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运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属－绝缘层－金属（ＭＩＭ）结构的薄膜应变栅，测试了应变栅在２００￣３００℃的高温区内的稳定性，并分析了应变栅薄膜的结构、薄膜的应力以及热处理工艺等因素对力敏薄膜
【机 构】
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福州大学电子科学与应用物理系
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2000年5期
【基金项目】
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福建省自然科学基金资助项目!(E981 0 0 4 )
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