论文部分内容阅读
微光机电系统MOEMS（microoptical-electro-mechanical-system）来源于微机电系统MEMS技术和微光学技术的不断发展，以其高度的智能化、集成化、微型化，广泛应用于日常生活各领域和高、精、尖装备的设计生产中。MOEMS从系统的观点出发，根据系统功能目标和优化组织结构目标，以智能、动力、结构、运动和感知组成要素为基础，