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Method Investigation for Fabricating Micro-Optica Elements by Use of Half Tone Masks
【机 构】
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DepartmentofOpticsandElectronics,InstituteofOpticsandElectronics
【出 处】
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电子科技学刊：英文版
【发表日期】
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2010年2期
【基金项目】
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This work was supported by 973 Program of China under Grant No. 2006CB302900 and in part by the National Natural Science Foundation of China under Grant No. 60825405 and No. 60778018.
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