【摘 要】
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用γ－Ｆｅ＿２Ｏ＿３和ＬａＦｅＯ＿３作为补偿材料制作了集成补偿式气敏元件，气敏特性的测试结果表明，集成元件的特性与补偿材料、工作条件密切相关。
The integrated compensated gas sensor was fabricat
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用γ－Ｆｅ＿２Ｏ＿３和ＬａＦｅＯ＿３作为补偿材料制作了集成补偿式气敏元件，气敏特性的测试结果表明，集成元件的特性与补偿材料、工作条件密切相关。
The integrated compensated gas sensor was fabricated by using γ-Fe_2O_3 and LaFeO_3 as compensation materials. The gas sensitivities test results show that the characteristics of the integrated components are closely related to the compensation materials and working conditions.
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