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倒芯片互连用的高密度积层封装基板——DSOL技术
倒芯片互连用的高密度积层封装基板——DSOL技术
来源 :印制电路信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:EMPS
【摘 要】
:
概述了NEC开发的新型高密度封装用积层基板技术:DS0L,它以高解像度的勿系树脂为绝缘层,形成高膜厚/孔径比的微细导通孔,采用溅射薄膜和半家成镀工艺形成微细铜导体,适用于多
【作 者】
:
蔡积庆
【机 构】
:
南京无线电八厂长期从事印制板技术工作
【出 处】
:
印制电路信息
【发表日期】
:
2003年7期
【关键词】
:
高密度封装
积层基板
DSOL
大规模集成电路
倒芯片
芴系树脂
LSI封装
图形转移
焊盘
DSOL technology
fluorene based r
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概述了NEC开发的新型高密度封装用积层基板技术:DS0L,它以高解像度的勿系树脂为绝缘层,形成高膜厚/孔径比的微细导通孔,采用溅射薄膜和半家成镀工艺形成微细铜导体,适用于多针数区域阵列倒芯片封装用基板.
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