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基于激光波面干涉表面形貌测量原理，提出以偏振相移为基础的同步相移技术，研究具有抗振特性的精密表面激光波面干涉测量方案，以解决精密表面加工中的在线在机质量监测问题。介绍同步相移偏振干涉表面测量原理，分析其抗振抗环境干扰特性，构建测量系统实验装置，并完成测试实验。分析和测试实验结果验证了研究的同步相移激光波面干涉测量系统用于在线表面精密测量的良好适应性。