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超薄体SOI MOSFETs硅膜区热生成行为分析
超薄体SOI MOSFETs硅膜区热生成行为分析
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nieyuhan
【摘 要】
:
针对SOI MOSFET自热效应热量的来源——热生成行为进行了深入研究,结果表明,对于静态电路,饱和导通电流产生的焦耳热效应是主要热量来源;对于动态电路,开关电流引起的器件寄
【作 者】
:
苏亚丽
唐凌虹
王金刚
【机 构】
:
西安石油大学机械工程学院
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
2018年5期
【关键词】
:
绝缘体上硅
自热效应
热生成
焦耳热效应
开关热效应
silicon-on-insulator (SOl)
self-heating effect
heat
【基金项目】
:
陕西省教育厅科研计划项目(16JK1609), 西安石油大学青年科技创新基金(2015BS049)
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针对SOI MOSFET自热效应热量的来源——热生成行为进行了深入研究,结果表明,对于静态电路,饱和导通电流产生的焦耳热效应是主要热量来源;对于动态电路,开关电流引起的器件寄生电容充放电过程产生的开关热效应起主要作用.
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