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采用直流溅射法成功制备出了SnO2纳米颗粒，分析了SnO2纳米颗粒的形成机理，研究了不同溅射时间、不同衬底材质对SnO2纳米颗粒形成的影响规律。结果表明，溅射时间对SnO2纳米颗粒的尺寸有显著影响。随溅射时间延长，颗粒尺寸呈线性增长，从约20nm(1min)增长到约80nm(10min)。衬底材质则对SnO2纳米颗粒的形态及分布有显著影响。对比单晶硅、载玻片、喷金载玻片三种不同衬底材质，发现以单晶硅为衬底的纳米颗粒分布均匀，而以载玻片为衬底的纳米颗粒分布不均，并且随溅射时间延长，以载玻片为衬底的纳米颗粒发