准分子激光器参数测量

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测量了快放电激励氟化氙准分子激光器的激光脉冲波形和放电电流波形,并由此测出了激光器和放电球隙开关的动态电感和电阻。讨论了储能电容、器件的电感和充电电压对激光脉冲的影响。
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