【摘 要】
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本文叙述了荷电粒子注源的物理原理和几种应用,大多数原理和应用基于利用部分电离的等离子体的传输特性或将其作为靶来利用。这些应用包括加速器源和离子植入技术。
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本文叙述了荷电粒子注源的物理原理和几种应用,大多数原理和应用基于利用部分电离的等离子体的传输特性或将其作为靶来利用。这些应用包括加速器源和离子植入技术。
This paper describes the physical principle and several applications of charged particle injection. Most of the principles and applications are based on the transmission characteristics of partially ionized plasma or used as a target. These applications include accelerator sources and ion implantation techniques.
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