一种与红外控温互补的温度控制系统

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针对人工晶体生长温度控制系统,提出一种基于直流可编程电子负载控制加热功率的方 法控制温度,补充现有温度控制方法在晶体生长低温段(0-800 ℃)的缺陷.根据多次应用在蓝宝 石晶体生长实验的结果,系统在实验中控制的升温段和降温段(室温至1 900 ℃)温度与功率曲线 均稳定,与红外控温方式在晶体生长工艺中形成良好的互补.该方法具有良好的便捷性、稳定性和 较低廉的成本.
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